เครื่องมือวัดและควบคุมกระบวนการ

PMsenseCR

ทรานสมิตเตอร์วัดอนุภาคหรือสิ่งปนเปื้อนสำหรับ Cleanroom โดยเฉพาะ เพื่อให้เป็นไปตามมาตรฐาน ISO 14644
วัดอนุภาคที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางตั้งแต่ 0.3 ถึง 10 µm
ช่วงการวัด 3.3 x 109 pcs/m3
วัดด้วยหลักการกระเจิงแสงเลเซอร์ (Laser Scattering) โดยนับและจำแนกอนุภาคตามขนาด
สามารถทำงานแบบต่อเนื่อง หรือตั้งค่าให้วัดเป็นรอบ
รองรับเอาต์พุตดิจิทัล RS485 แบบ Modbus-RTU หรือ ASCII Proprietary Protocol และเอาต์พุตอนาล็อก 4-20 mA เพิ่มเติมอีก 2 ช่อง
สามารถติดตั้งเซนเซอร์วัดคาร์บอนไดออกไซด์เพิ่มในตัว

Feature	Description
Measurement Specifications
Parameter	Specification
Particulate Matter
Measuring principle	Laser scattering
Measured pollutants	N° of particles/m³ with size > 0.3 µm N° of particles/m³ with size > 0.5 µm N° of particles/m³ with size > 1 µm N° of particles/m³ with size > 2.5 µm N° of particles/m³ with size > 5 µm
Measuring range	< 3.3 × 10⁷ pcs/m³ (loss of linearity above this threshold)
Particle size detection range	Ø 0.3...10 µm
Lowest detectable concentration	350 particles/m³
Detection efficiency (ISO 21 501-4)	50% ± 30% @ 0.3 µm 100% ± 20% @ 0.5 µm
False count	< 3 over 15 minutes
Repeatability	< 3% for N° of particles/m³ with size > 0.3 µm and > 0.5 µm < 5% for N° of particles/m³ with size > 1 µm < 10% for N° of particles/m³ with size > 2.5 µm < 15% for N° of particles/m³ with size > 5 µm
Sensor warm up time	15 s
Sensor lifetime	> 10,000 hours in continuous operating mode (default, 1 meas./s) 5 years approx. in 5 minutes cyclic operating mode
CO₂ (only PMBsenseCR...)
Measuring principle	Double wavelength NDIR
Measuring range	0...5000 ppm
Accuracy	±(50 ppm + 3% of measurement) @ 25°C and 1013 hPa
Response time	< 120 s (air speed = 2 m/s)
Long-term stability	5% of measurement / 5 years
Temperature drift	1 ppm/°C